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高分辨率臺式掃描電鏡可增加放大倍率

 更新時間:2020-08-25 點擊量:2277
  高分辨率臺式掃描電鏡是對樣品表面形態進行測試的一種大型儀器,當具有一定能量的入射電子束轟擊樣品表面時,電子與元素的原子核及外層電子發生單次或多次彈性與非彈性碰撞,一些電子被反射出樣品表面,而其余的電子則滲入樣品中,逐漸失去其動能,停止運動,并被樣品吸收。
  掃描電鏡視頻放大器放大的二次電子信號是一個交流信號,用這個交流信號調制顯像管柵極電,其結果在顯像管熒光屏上呈現的是一幅亮暗程度不同的,并反映樣品表面起伏程度(形貌)的二次電子像。
  掃描方式分點掃描、線掃描、面掃描和Y調制掃描。掃描電鏡圖像的放大倍率是通過改變電子束偏轉角度來調節的,放大倍數等于CRT面積與電子束在樣品上掃描的面積之比,減小樣品上掃描的面積,就可增加放大倍率,電子束在樣品上掃描的面積,由掃描線圈產生的激勵磁場控制,可以連續調節,所以掃描電鏡的放大倍率是可以連續調節的。
  為保證高分辨率臺式掃描電鏡電子光學系統的正常工作,掃描電鏡采用一個機械泵和一個油擴散泵,真空系統的工作自動進行并有保護電路。若達不到高真空,高壓指示燈將不亮,高壓加不上,擴散泵冷卻水斷路或水壓不足,全機電源自動切斷,擴散泵溫度過高也自動斷電。電子槍燈絲更換有單獨的電子槍室與主機鏡筒隔離,更換燈絲后幾分鐘內電子槍即可達到高真空。

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