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高分辨率臺(tái)式掃描電鏡可增加放大倍率

 更新時(shí)間:2020-08-25 點(diǎn)擊量:1983
  高分辨率臺(tái)式掃描電鏡是對(duì)樣品表面形態(tài)進(jìn)行測(cè)試的一種大型儀器,當(dāng)具有一定能量的入射電子束轟擊樣品表面時(shí),電子與元素的原子核及外層電子發(fā)生單次或多次彈性與非彈性碰撞,一些電子被反射出樣品表面,而其余的電子則滲入樣品中,逐漸失去其動(dòng)能,停止運(yùn)動(dòng),并被樣品吸收。
  掃描電鏡視頻放大器放大的二次電子信號(hào)是一個(gè)交流信號(hào),用這個(gè)交流信號(hào)調(diào)制顯像管柵極電,其結(jié)果在顯像管熒光屏上呈現(xiàn)的是一幅亮暗程度不同的,并反映樣品表面起伏程度(形貌)的二次電子像。
  掃描方式分點(diǎn)掃描、線(xiàn)掃描、面掃描和Y調(diào)制掃描。掃描電鏡圖像的放大倍率是通過(guò)改變電子束偏轉(zhuǎn)角度來(lái)調(diào)節(jié)的,放大倍數(shù)等于CRT面積與電子束在樣品上掃描的面積之比,減小樣品上掃描的面積,就可增加放大倍率,電子束在樣品上掃描的面積,由掃描線(xiàn)圈產(chǎn)生的激勵(lì)磁場(chǎng)控制,可以連續(xù)調(diào)節(jié),所以?huà)呙桦婄R的放大倍率是可以連續(xù)調(diào)節(jié)的。
  為保證高分辨率臺(tái)式掃描電鏡電子光學(xué)系統(tǒng)的正常工作,掃描電鏡采用一個(gè)機(jī)械泵和一個(gè)油擴(kuò)散泵,真空系統(tǒng)的工作自動(dòng)進(jìn)行并有保護(hù)電路。若達(dá)不到高真空,高壓指示燈將不亮,高壓加不上,擴(kuò)散泵冷卻水?dāng)嗦坊蛩畨翰蛔悖珯C(jī)電源自動(dòng)切斷,擴(kuò)散泵溫度過(guò)高也自動(dòng)斷電。電子槍燈絲更換有單獨(dú)的電子槍室與主機(jī)鏡筒隔離,更換燈絲后幾分鐘內(nèi)電子槍即可達(dá)到高真空。

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