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飛納電子顯微鏡有哪些分類?

 更新時(shí)間:2022-10-26 點(diǎn)擊量:1358
  飛納電子顯微鏡是根據(jù)電子光學(xué)原理,用電子束和電子透鏡代替光束和光學(xué)透鏡,使物質(zhì)的細(xì)微結(jié)構(gòu)在非常高的放大倍數(shù)下成像的儀器。
 
  飛納電子顯微鏡的分辨能力是重要的指標(biāo),電子顯微鏡的分辨能力以它所能分辨的相鄰兩點(diǎn)的間距來表示,即稱為該儀器的高點(diǎn)分辨率:d=δ。顯然,分辨率越高,即d的數(shù)值(為長度單位)愈小,則儀器所能分清被觀察物體的細(xì)節(jié)也就愈多愈豐富,也就是說這臺(tái)儀器的分辨能力或分辨本領(lǐng)越強(qiáng)。
 
  由電子槍發(fā)射的精細(xì)聚焦電子束經(jīng)兩級(jí)聚光鏡、偏轉(zhuǎn)線圈和物鏡射到樣品上,掃描樣品表面并激發(fā)出次級(jí)電子,次級(jí)電子的產(chǎn)生量與電子束入射角有關(guān),即與樣品的表面結(jié)構(gòu)有關(guān)。
 
  次級(jí)電子經(jīng)探測體收集后,由閃爍器轉(zhuǎn)換為光信號(hào),再經(jīng)光電倍增管和放大器轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?hào)來控制熒光屏上電子束的強(qiáng)度,顯示出與電子束同步的掃描圖像。
 
  圖像為立體形象,反映了標(biāo)本的表面結(jié)構(gòu)。掃描電鏡的標(biāo)本在檢驗(yàn)前,需進(jìn)行固定、脫水處理,再噴涂上一層重金屬微粒,重金屬在電子束的轟擊下發(fā)出次級(jí)電子信號(hào)。
 
  電子顯微鏡按結(jié)構(gòu)和用途可分為透射式電子顯微鏡、掃描式電子顯微鏡、反射式電子顯微鏡和發(fā)射式電子顯微鏡等。
 
  1、透射式電子顯微鏡常用于觀察那些用普通顯微鏡所不能分辨的細(xì)微物質(zhì)結(jié)構(gòu);
 
  2、掃描式電子顯微鏡主要用于觀察固體表面的形貌,也能與X射線衍射儀或電子能譜儀相結(jié)合,構(gòu)成電子微探針,用于物質(zhì)成分分析;
 
  3、發(fā)射式電子顯微鏡用于自發(fā)射電子表面的研究。

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