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掃描電鏡的基本原理詳細介紹下

 更新時間:2024-05-24 點擊量:1099
  掃描電鏡是一種將物質表面形貌放大成圖像的高分辨率成像技術,它采用電子束掃描樣品表面,誘發樣品表面與電子束相互作用后所產生的多種信號,利用這些信號進而形成圖像。掃描電鏡可觀察材料表面形貌、成分分析和結構表征、宏觀形貌等方面,具有高分辨率、分析功能以及適用范圍廣等優勢。因此,掃描電鏡已經成為表面形貌研究和材料科學等領域的重要工具。
 
  掃描電子顯微鏡(SEM)是一種介于透射電子顯微鏡和光學顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品,通過光束與物質間的相互作用,來激發各種物理信息,對這些信息收集、放大、再成像以達到對物質微觀形貌表征的目的。
 
  掃描電鏡有一個電子發射槍,從槍中會發射出加速、聚焦過的電子,在用這些電子來撞擊樣品。樣品在受到撞擊后會產生如同水波一般的信號,另一個接收器會用來接收這些信號。這些信號有許多不同的種類,不同的信號有不同的用途,可以對樣品多個方面的表現進行檢測。因此,掃描電鏡除了可以成像外,還可以用來分析樣品的成分形貌,對樣品的元素進行分析。
 
  掃描電鏡(掃描電子顯微鏡)的基本原理是利用高能聚焦的電子束掃描樣品表面,通過電子束與物質間的相互作用激發出各種物理信息,如二次電子、背散射電子等。這些物理信號的強度隨樣品表面特征而變化,并被相應的收集器接受,經過放大器放大后,送到顯像管的柵極上,用來同步地調制顯像管的電子束強度,即在熒光屏上形成與樣品表面特征相對應的畫面。

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