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飛納電鏡為什么可以做到15s抽真空,30s成像?

 更新時(shí)間:2024-12-13 點(diǎn)擊量:829

如之前【飛納電鏡:從飛利浦到賽默飛,是最“老"的電鏡,也是最“新"的電鏡(上篇)】的介紹,飛納電鏡繼承荷蘭飛利浦和 FEI 三倉分離和逐級(jí)抽真空設(shè)計(jì),可以實(shí)現(xiàn) 15 秒抽真空 30 秒成像,這是目前業(yè)界高效率的臺(tái)式掃描電鏡,可謂是掃描電鏡中的“閃電俠"。

 

不同類型掃描電鏡操作所用時(shí)長對(duì)比圖

 

通過不同電鏡操作用時(shí)對(duì)比圖可知,一方面是抽真空耗時(shí),傳統(tǒng)電鏡因?yàn)橥▊}的設(shè)計(jì),載樣抽真空過程需要很長時(shí)間,至少 3 分鐘的樣子。隨著設(shè)備真正服役,真空系統(tǒng)復(fù)雜加之維護(hù)不到位,這個(gè)等待時(shí)間只會(huì)越來越久。另一方面 SEM 成像耗時(shí),傳統(tǒng)電鏡操作界面復(fù)雜不說,自動(dòng)化智能功能嚴(yán)重不足,很依賴于操作人員的熟練程度,一個(gè)小時(shí)往往能拍好 3 個(gè)樣品都算快的。

就傳統(tǒng)電鏡抽真空耗時(shí)久這一痛點(diǎn),飛納電鏡是如何實(shí)現(xiàn)抽真空和成像如此之快呢?

 

PART1. 三倉分離真空設(shè)計(jì)

 

飛納電鏡從一開始就拋棄傳統(tǒng)的通倉設(shè)計(jì),別出心裁把燈絲倉,光路倉和樣品倉“隔離"設(shè)計(jì),燈絲倉和光路倉通過壓差光闌隔離,光路倉和樣品倉通過“真空鎖"設(shè)計(jì)隔離,渦輪分子泵分別對(duì)三倉室梯度抽真空,這樣切換樣品只破壞樣品倉真空,整個(gè)換樣過程幾乎不會(huì)引起燈絲倉的真空變化,從而保證燈絲倉真空環(huán)境一直穩(wěn)定在 10-5Pa,這也是保證晶體燈絲長壽命的前提條件。

 

 

 

 

PART2. 樣品倉設(shè)計(jì)

 

傳統(tǒng)電鏡樣品倉大開門或者抽屜式設(shè)計(jì),不但會(huì)造成抽真空緩慢,而且樣品倉內(nèi)各種探測(cè)器都暴露在空氣中,樣品高度要調(diào)整,這些都需要警惕否則都會(huì)帶來巨大損失。而飛納電鏡真空鎖不單鎖住光路倉,還包括各種探測(cè)器,進(jìn)樣之前樣品高度做了限高防呆設(shè)計(jì),不存在任何誤操作得風(fēng)險(xiǎn),大家可以安心使用。

 

PART3. 自動(dòng)進(jìn)樣設(shè)計(jì)

 

飛納電鏡繼承荷蘭飛利浦和 FEI 進(jìn)樣逐級(jí)抽真空設(shè)計(jì),一鍵轉(zhuǎn)移到 SEM,邊進(jìn)樣邊抽真空。在樣品倉到達(dá)預(yù)定真空度前,光路倉可實(shí)現(xiàn)真空保持,而后自動(dòng)加高壓,自動(dòng)調(diào)焦和自動(dòng)調(diào)節(jié)亮度對(duì)比度(B/C)成像,整個(gè)過程一氣呵誠,無需人工干預(yù),從進(jìn)樣到清晰成像,1min 之內(nèi)就可以自動(dòng)完成。

 

 

 

 

飛納電鏡的真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)、操作系統(tǒng)和硬件整合都是目前主流市場上做得非常好的,正是由于飛納電鏡諸多匠心設(shè)計(jì),才成為目前市面上高效的掃描電鏡,也收獲了各種獎(jiǎng)項(xiàng)!


2015  今日顯微鏡學(xué)創(chuàng)新獎(jiǎng)

 

 

飛納熒光掃描電鏡一體機(jī) Delphi 被授予 2015 今日顯微學(xué)創(chuàng)新獎(jiǎng),表彰其整合光電關(guān)聯(lián)技術(shù)的創(chuàng)新。

 

2009 德國設(shè)計(jì)大獎(jiǎng)

 

 

由德國設(shè)計(jì)學(xué)會(huì)頒發(fā)的德國設(shè)計(jì)大獎(jiǎng)是世界設(shè)計(jì)界的最高獎(jiǎng)項(xiàng)之一,其以提名標(biāo)準(zhǔn)的嚴(yán)格而聞名,被譽(yù)為“桂冠中的桂冠"。

 

2008 GIO 工業(yè)設(shè)計(jì)獎(jiǎng)

 

 

GIO 工業(yè)設(shè)計(jì)獎(jiǎng)是荷蘭的設(shè)計(jì)類獎(jiǎng)項(xiàng),用以表彰專業(yè)的設(shè)計(jì)技術(shù)。Phenom 飛納在 2008 年獲此殊榮,證明了其設(shè)計(jì)水平。

 

2008 創(chuàng)新技術(shù)獎(jiǎng)

 

 

荷蘭 Het Instrument 展覽會(huì)期間,Phenom 飛納榮獲實(shí)驗(yàn)室器材領(lǐng)域中的創(chuàng)新技術(shù)獎(jiǎng),再次證明了其設(shè)計(jì)理念。

 

2008 PTB-年度最佳產(chǎn)品

 

 

美國 Phonics Tech Briefs (PTB) 雜志授予 Phenom 飛納年度最佳產(chǎn)品。

 

2007 美國商務(wù)部杰出創(chuàng)新獎(jiǎng) 

 

 

美國商務(wù)部技術(shù)管理局決定授予 Phenom 飛納杰出創(chuàng)新獎(jiǎng),以表彰其“帶來的全新視野,促進(jìn)了科學(xué)、技術(shù)、工程等領(lǐng)域中的教學(xué)與研究。

 

2007 紅點(diǎn)設(shè)計(jì)獎(jiǎng)

紅點(diǎn)設(shè)計(jì)獎(jiǎng)?chuàng)碛?50 多年的悠久歷史,被譽(yù)為設(shè)計(jì)界中的奧斯卡,最大最尊貴的設(shè)計(jì)獎(jiǎng)項(xiàng)。

 

 2006 荷蘭機(jī)電學(xué)大獎(jiǎng)

因其“在機(jī)械電子領(lǐng)域中,合作研發(fā)與制造能力"榮獲荷蘭機(jī)電學(xué)大獎(jiǎng)。

 

臺(tái)式場發(fā)射掃描電鏡

 

如果你還在為:

切換樣品需要頻繁抽真空而苦惱

如果你還在為:

傻傻做標(biāo)記尋找樣品定位而苦惱

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